2016年6月8日星期三

鎢絲的多模連續拉絲技術

鎢絲微電極陣列的組裝:將上述絕緣後的鎢絲切為長度為3cm的細絲,然後將其嵌入上述玻璃模具的溝槽中,並用環氧膠固定。如圖1所示

電極位點暴露:將上述排列固定後的鎢絲陣列進行正 反兩次光刻,將欲切割並制作電極點的鎢絲局部(即鎢絲與電化學腐蝕竹道交叉處)Durimide層除去。如圖2所示。這步工藝決定了最後微電極電極軸的長度,可以根據實際需要,通過繪制不同的光刻掩模板來改變微電極軸的長度。

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