鎢絲
2016年6月8日星期三
鎢絲的多模連續拉絲技術
鎢絲
微電極陣列的組裝:將上述絕緣後的鎢絲切為長度為
3cm
的細絲,然後將其嵌入上述玻璃模具的溝槽中,並用環氧膠固定。如圖
1
所示
。
電極位點暴露:將上述排列固定後的鎢絲陣列進行正
-
反兩次光刻,將欲切割並制作電極點的鎢絲局部
(
即鎢絲與電化學腐蝕竹道交叉處
)Durimide
層除去。如圖
2
所示
。這步工藝決定了最後微電極電極軸的長度,可以根據實際需要,通過繪制不同的光刻掩模板來改變微電極軸的長度。
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